고기능성융복합화학소재
통합정보 지원시스템

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연구장비 통합 정보 지원시스템

장비정보

  • 마스크 정렬 및 노광 시스템(Mask aligner & Exposure system)
  • - 시설장비활용번호 : 20210326000000254400
  • - 시설장비등록번호 : NFEC-2021-03-269681
  • - 고정자산관리번호 : 14016400
  • - 모델명 : M100
  • - e-Tube No. :
  • - NTIS No. :
  • - 구분 : 주장비
  • - 제작사 : 프로윈

기본정보

장비명 마스크 정렬 및 노광 시스템(Mask aligner & Exposure system)
설치장소 울산광역시 울주군 언양읍 유니스트길 50 울산과학기술원 해수자원화센터 113동 F4층 408-2호
관리기관 울산과학기술원
출처 ZEUS 공동활용가능여부 단독장비
표준분류 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비 시설장비문의번호
시설장비 과제정보
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